CHARIOT：　SEM、EBL用電子散乱シミュレーションツール

CHARIOTは、入射電子により材料中で生成される２次電子、反射電子を先進のMonte Carlo法で高速、高精度にシミュレートします。　

シミュレーション例

<電子線描画での蓄積エネルギー>




<SEMイメージ生成>

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