Munro's Electron Beam
Software (MEBS Ltd.)　UK

電子・イオンビーム描画装置、電子顕微鏡等の荷電ビーム装置の光学設計シミュレーターとして世界中の先端的開発拠点で使われています。

標準パッケージに加え、お客様の個別デザインに合わせたツールの開発もお請けしています。

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■Link to MEBS：http://www.mebs.co.uk/

aBeam Technologies　USA

電子ビーム描画、測長、欠陥検査装置等での電子ビームと材料（マスク・ウェハー、感光剤）の相互作用をシミュレートします。　
各アプリケーションプロセスでの最適条件出し（DOE）がシミュレーターで短時間に経済効率よく行えます。

お客様仕様のシミュレーターの開発や解析受託もお請けしています。

■製品紹介
　TEMPTATIOＮ　熱解析シミュレーター解析シミュレーター
　CHARIOT　材料からの２次電子、反射電子シミュレーター
　TRAVIT フォトマスク用ドライエッチシミュレーター
　BEAMETR　ナノメーター ビーム径測定自動測定
■資料請求
■Link to aBeam Technologies：
　 http://www.abeamtech.com.

XENOS Semiconductor Technologies, Germany

ラボ用SEM・FIBを使ったナノメーター描画は、ＭＥＭＳ等のナノテクノロジー先端分野でその手軽さと柔軟性で必要不可欠なツールです。

チュービンゲン大学で開発され、XENOS社にて製品化されたXeDraw2は、数々の革新的アルゴリズムを駆使して商用SEM、FIBからその描画性能を最大限引き出します。

■製品紹介
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■Link to XENOS：
　 http://www.xenos-semi.com